Kovar合金與硼硅酸鹽硬質(zhì)玻璃是由Kovar合金與玻璃表面氧化物相互溶解而形成的
。因此,Kovar合金的預(yù)氧化是金屬殼體制造中一個非常重要的過程
,也是直接影響密封密封的重要因素
。為了實(shí)現(xiàn)氣密密封
,kovar合金預(yù)氧化需要Fe3O4和FeO
,但不期望Fe2O3。同時
,氧化物膜厚度應(yīng)控制在一定范圍內(nèi);如果氧化物膜太薄,氧化物**溶解在玻璃中
,導(dǎo)致玻璃與金屬基體表面直接密封,從而降低了密封強(qiáng)度
;如果氧化物膜太厚
,金屬表面的氧化物粗糙疏松,密封件容易泄漏。為了達(dá)到上述兩個目的
,可以從Kovar合金氧化的熱力學(xué)和動力學(xué)出發(fā)
,通過控制氧化氣氛、溫度和時間來實(shí)現(xiàn)
。
